台湾专利TW201324678A 晶圓載具

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专利摘要:
一種適用於例如450毫米晶圓等大晶圓之前開式晶圓容器使用具有單獨扣件之元件部分（componentry）以將該等元件部分以一適當方式鎖定於一起，進而提供堅固之連接及成本效益。一容器部具有一開口正面並於一底面上容置由複數個轉鎖連接器固定之一基礎板，該等轉鎖連接器亦提供複數個凹槽以用於複數個清洗墊圈。運動耦合組件能輕易並堅固地鎖定至該基礎板上。內部晶圓支撐組件利用具有複數個保持凸片及鎖定掣子之一單獨鎖定插件而閂鎖至側壁上之托架上。當門被安裝並安放好時，一晶圓保持器提供支撐並抵抗與450毫米晶圓相關聯之增大之晶圓下垂。
公开号:TW201324678A
申请号:TW101129184
申请日:2012-08-13
公开日:2013-06-16
发明作者:Michael S Adams；Barry Gregerson；Matthew A Fuller
申请人:Entegris Inc；
IPC主号:H01L21-00

专利说明:
晶圓載具【相關申請案】
本申請案主張於2011年8月12日提出申請且名稱為「晶圓載具(WAFER CARRIER)」之美國臨時專利申請案第61/523,254號之優先權，該申請案係以引用之方式全文併入本文中。
本發明係關於用於例如半導體晶圓等易損壞之基板(sensitive substrate)之容器，更具體而言，係關於此類容器之組件及如何將該等組件組裝成此類容器。
例如電腦晶片等積體電路(integrated circuit；IC)係由半導體晶圓製成。該等晶圓於製作積體電路之製程中經歷大量步驟。此一般需要自一個工作站運輸複數個晶圓至另一工作站，以供由專門設備進行處理。作為處理程序之一部分，可將晶圓暫時儲存於容器中或於容器中裝運至其他工廠或最終使用者。此類設施內(intra-facility)移動及設施外(extra-facility)移動可生成潛在之晶圓破壞性污染物或使晶圓暴露於潛在之晶圓破壞性污染物中。為降低污染物對晶圓之有害影響，已開發出專門容器來最小化污染物之生成以及隔離晶圓與容器外部之污染物。該等容器所共有之一主要特徵在於，該等容器設置有可移除之門或蓋以使得能夠存取內部之晶圓。
塑膠容器被用於在各製程步驟之間運輸及儲存晶圓已達數十年之久。此類容器具有嚴格受控之容差，以介接處理設備以及用於運輸該等容器之設備/機械手臂。此外，較佳係於此類塑膠容器中利用無需使用例如螺釘等金屬扣件即可附裝及可移除之組件，乃因金屬扣件於被插入及移除時可引起微粒生成。
用於運輸及/或儲存半導體晶圓之容器之附加、所需或可取特性包含輕量化、有剛性、潔淨、氣體排放量有限、以及具有具成本效益之可製造性(cost effective manufacturability)。當容器被封閉時，該等容器使晶圓氣密性地隔離或接近氣密性地隔離。簡言之，此類容器需要保持晶圓潔淨、無污染且不受損壞。另外，載具需在劇烈之自動搬運中保持其性能，此種自動搬運包括藉由位於容器頂部之自動凸緣來提升載具以及藉由使輸送機系統嚙合容器側壁之外表面上之輸送機凸緣來運輸此類載具。
前開式晶圓容器已成為用於運輸及儲存大直徑300毫米晶圓之行業標準。在此類容器中，前門可閂鎖於一容器部之一門框架內並封閉一正面存取開口，晶圓係經由該正面存取開口藉由機械手臂而插入及移出。當容器裝滿晶圓時，該門被插入至該容器部之門框架中並閂鎖至該門框架。當進行安放時，該門上之襯墊(cushion)為晶圓提供向上、向下及向內之約束。
半導體行業如今正趨於使用甚至更大之450毫米直徑之晶圓。直徑更大之晶圓儘管提供成本效益，然而亦會提供增大之易碎性(fragibility)、更大之重量，並具有與搬運及儲存該等更大晶圓於由塑膠製成之容器中相關聯之尚未發現之難題。與頂部、底部、側面、正面及背面上之塑膠區域相關聯之偏斜及相關問題加劇。較大組件之組裝及所組裝組件之製造容差更成問題。增加之基板重量在較大組件上所施加之力會導致更大之應力，製造容差會更大，且傳統之組件間連接技術可能不適用或不能最佳地使用。
尺寸較大之晶圓亦具有顯著較大之下垂，此使得該等晶圓於搬運及運輸期間更易於損壞且需要使用較小晶圓所不需要之獨特支撐。此較大之下垂在保持晶圓間之所欲間距且同時仍允許藉由機械手臂而自動地放置及移出晶圓方面提出挑戰。
在傳統300毫米晶圓容器、尤其是被稱為前開式裝運箱(front opening shipping boxes；FOSBS)之晶圓容器中，前門可閂鎖至一容器部並封閉一正面存取開口，晶圓係經由該正面存取開口而自動地插入及移出。當容器裝滿晶圓時，該門被插入至該容器部之門框架中並閂鎖至該門框架。在此一構型中，晶圓於橫向放置之擱架上具有一第一水平安放位置，且隨後在插入門之後，該等晶圓藉由晶圓支架而被垂直地提升至一第二安放位置，其中於門之內表面上在晶圓容器及晶圓支架之後部具有斜坡(常常被稱為「襯墊」)。然後，容器可向後旋轉90度以使晶圓垂直定向而進行裝運。參見美國專利第6,267,245號及第6,010,008號，該等美國專利係由本專利申請之所有者所有並以引用方式併入本文中。斜坡係為V形槽之一部分，其中V形被旋轉90度，藉此使V形之下支腿嚙合晶圓邊緣且當門被插入時沿該下支腿之斜面向上滑動，進而最終安放於V形槽之內部頂點處。當被安放好時，該門上之襯墊則提供向上、向下及向內之約束。由於與450毫米晶圓相關聯之下垂較大，故如美國專利第6,010,008號中所示之傳統斜坡可能並非最佳的。
隨著半導體晶圓之尺寸增大，形成於該等晶圓上之電路之密度亦增大，進而使該等電路更易因越來越小之微粒及其他污染物而產生缺陷。簡言之，隨晶圓尺寸之增大，容器之尺寸亦在增加，並且因晶圓更易受更小之微粒及其他污染物之影響，故使晶圓保持潔淨及無污染之要求已變得更加嚴格。
存在若干與先前晶圓搬運裝置或容器相關聯之關於顆粒生成之缺點。在一容器之使用壽命中，蓋或門以自動與手動方式被附裝及移除多次。對於每一次附裝及移除，門邊緣之一部分皆可能會刮擦容器之門框架。此可導致生成鬆散微粒，該等鬆散微粒可藉由空氣傳播而停留於所容納之晶圓上。同等重要地，晶圓搬運裝置或容器之門通常包含接觸並支撐晶圓邊緣之襯墊或通道。最佳地，此類襯墊或通道被設計成與容器中之晶圓容置通道相呼應地操作，以穩固地固持複數個晶圓。若一門未被且無法被準確且重複地居中於一門框架內，則門襯墊或通道與晶圓之間便可發生過度接觸及後續之微粒生成。
微粒生成之問題亦可能歸因於製造門及容器之過程。容器及門通常係利用例如聚碳酸酯等塑膠藉由射出成型(injection molding)而形成。成型部件之收縮及翹曲係為此類成型製程中所固有的。儘管塑膠射出成型技術極為先進，然而來自同一模具之不同組件之間仍可存在個別偏差。儘管微小偏差一般不會損害門在封閉一容器時之功能，然而該等偏差可改變工作尺寸以致於增大門與門框架間之接觸(以及所導致之微粒生成)。尺寸變化亦可由模具本身因正常磨損而生成。當門與容器之組件之容差被迭加或相加時，此問題加劇。
因該等晶圓載具係自動地打開及關閉，故出現又一缺點。該等載具係由多個設備打開，各該設備可能會以不同方式設置。而且，此類設備可能會未經調整並經受磨損。因而，此類設備可能未被理想地校準，進而導致出現不可取及/或過度之門-框架接觸並導致過度磨損及/或微粒生成情形。
因此，業內需要提供一種晶圓容器，該晶圓容器能解決此等問題其中之一或多者，當該等問題出現於用於450毫米直徑及更大晶圓之容器時尤其如此。
一種尤其包含一容器部及一門之前開式晶圓容器適用於搬運大於300毫米之晶圓，例如450毫米之晶圓。一晶圓保持器可拆裝地附裝於前門之一朝內表面上並包含二排懸臂式指狀件，該二排懸臂式指狀件其中之每一排皆自一垂直構件下垂。各該指狀件具有一固定端部或近端部、一中間部及一撓曲末端部，其中一暴露之晶圓嚙合表面係面對晶圓容器。該指狀件初始地自垂直構件水平延伸，然後於中間部及端部處自水平方向略微向下延伸。該暴露之晶圓嚙合表面具有由一上表面部與一下表面部間之接合點界定之一線性凹槽或槽或凹部。該槽或凹部提供一晶圓安放槽，以供當門被完全安放於容器部之門框架中時使用。位於各該指狀件之端部處之晶圓安放槽係鄰近該指狀件之上邊緣，且在該晶圓安放槽接近固定端部時延伸至上邊緣與下邊緣件之間、大約該指狀件之中部。該暴露之晶圓嚙合表面之下表面部於各該指狀件之末端部在垂直方向上較寬，且隨後朝固定端部變窄。該晶圓保持器更具有與該晶圓安放槽水平對齊的額外一排固定晶圓安放部。
當門被插入至容器部之門框架中時，晶圓之前邊緣因晶圓之下垂而於各該指狀件之端部上之一較低點處初始地嚙合各該指狀件。當門被進一步插入至門框架中時，相對於各該指狀件之每一下表面部之垂直線傾斜之斜面將向上推動各該晶圓之前沿；當門被進一步插入時，各該晶圓與各該指狀件間之嚙合之水平範圍將於水平寬度方面增大並更靠近各該指狀件之固定端部延伸，直至門到達其安放位置為止。此時，各該晶圓沿晶圓嚙合槽之大部被相應指狀件最大程度地嚙合，且亦被該額外一排固定晶圓安放部嚙合。在一實施例中，各該晶圓被門之該等指狀件其中之二者以及二額外固定晶圓安放部嚙合。因此，在一實施例中，存在垂直的二排懸臂式晶圓嚙合指狀件及二排固定晶圓安放部。
在一實施例中，利用配合托架(即一插入部及一凹腔部，其中一者位於殼體上、另一者位於晶圓支撐擱架組件之後側上)與一三部件式接頭(three part connection)之一組合將晶圓支撐擱架固定至側壁，該三部件式接頭位於晶圓支撐擱架組件之前側。該三部件式接頭包含位於晶圓擱架組件上之一托架、與殼體成一體之一配合適形托架(conforming bracket)、以及用於將該二托架固定於一起之一鎖定構件。該鎖定構件被構造成一夾，該夾具有複數掣子以用於使該夾保持於定位上，該等掣子相對於晶圓擱架所承載之負載而言並不承載負載。因此，本發明實施例之一特徵及優點在於一用於晶圓擱架之連接總成，其中擱架組件利用一單獨組件固定至殼體，該單獨組件藉由例如掣子等一體式彈性凸片而鎖定至一固定位置。
另外，亦可利用包括轉鎖連接器在內之額外扣件組件而固定一具有運動聯結器(kinematic coupling)之基礎板，該等額外扣件組件能在組裝操作最少且微粒產生量最少之條件下提供該基礎板之一堅固連接，並容許使用該等連接作為清洗埠(purge port)。該基礎板可使用卡扣式(snap-in)運動耦合組件，該等卡扣式運動耦合組件能輕易、堅固且精確地附裝至該基礎板上之適形孔(conforming aperture)。
因此，本發明提出一種適用於包括450毫米晶圓在內之大晶圓之晶圓容器，其具有新穎之組件構造及附裝手段。所述新穎性提供增強之效能、製造方便性及降低之成本。
參照第1A圖、第1B圖及第1C圖，於本發明之一實施例中繪示一多用途載具(multiple application carrier；MAC)30。多用途載具30包含一容器部32，容器部32大體上具有一殼體33，殼體33包含一上部36、一頂壁37、一下部38、一底壁39、二側部40、二側壁41、一後壁42及一後部42。上部36、下部38及該二側部40朝一正面開口43延伸，正面開口43被構造成一門框架44，門框架44可利用一門44而封閉並密封。在一個實施例中，容器部32的後部42包含形成於其上面之複數個托架46，托架46被構造成安裝凹腔。一對晶圓支撐組件50各具有一對一體成型之配合托架。該等托架與殼體上之托架配合。一鎖定夾可將晶圓支撐組件固定於定位上。一基礎板52可鄰近下部38而安裝於容器部32之外部上。在一個實施例中，基礎板52包含三個運動耦合槽組件56以及複數個轉鎖連接器58，轉鎖連接器58將基礎板52耦合至容器部32之下部38。在各圖式中例示了x-y-z座標系統，以提供方向參考。
參照第2圖及第3圖，其中單獨地繪示了第1C圖之基礎板52及運動耦合槽組件56。運動耦合槽組件56貼附至基礎板52上之安裝孔62，並包含一邊緣部64及一頂點部66，其中邊緣部64與頂點部66之間界定有一連續、不間斷之表面。在一個實施例中，邊緣部64具有一實質橢圓形狀，該橢圓形狀具有細長之直邊65及半圓形端部66。一對鎖定突出部68可被一體成型為在細長直邊處自運動耦合槽56之邊緣部64延伸。在一個實施例中，鎖定突出部68包含一倒鉤72及位於一末端76上之一錐形表面74。如第3圖、第3A圖及第3C圖所示，邊緣部在半圓形端部處上覆於基礎板52之一朝外表面77，且於細長直邊處，鎖定突出部卡扣於基礎板之一卡扣部79之一相對之朝內表面78上。
在功能上，運動耦合槽組件56之連續幾何形狀能在耦合至配合突出部時提供必要之強度以支撐容器部32。鎖定突出部68之錐形表面74使運動耦合槽組件56能夠以滑動方式插入至相應安裝孔62中。於各該錐形表面74之基部處所界定之倒鉤72被定位成嚙合相應安裝孔62，俾使鎖定突出部68卡扣於定位上以將運動耦合槽56固定至基礎板52。在一個實施例中，在不首先自容器部32移除基礎板52之條件下，無法自基礎板52移除運動耦合槽組件56。此有助於防止運動耦合槽組件56無意間自安裝孔62脫開或影響安裝孔62。
參照第4A圖、第4B圖、第5G圖及第5H圖，其中單獨地繪示第1B圖及第1C圖所示晶圓支撐組件50其中之一，並同時繪示一夾82，夾82被設計成嚙合晶圓支撐組件50以將晶圓支撐組件50固定至殼體33之側壁41其中之一。晶圓支撐組件50包含一前邊緣86及一後邊緣88，其中複數個晶圓支架設置於前邊緣86與後邊緣88之間。後邊緣88包含向後延伸之複數個後部突出部90。後部突出部90被構造成與容器部32之後部42上之安裝凹腔46配合。前邊緣86包含一托架，該托架與殼體上之配合托架110配合，晶圓支撐組件托架包含一由前邊緣凹腔92形成之陣列。
夾82包含一夾持部84，夾持部84具有自其向後延伸之複數個保持凸片98、100以及用於將晶圓支撐擱架組件固定至殼體之複數個鎖定凸片101。保持凸片98、100被構造成配合晶圓支撐組件50之前邊緣凹腔92。在所示實施例中，保持凸片100其中之某些包含鄰近一自由端104之一掣子102。
參照第5A圖至第5C圖，繪示處於組裝過程之各個階段中之多用途載具30。第5D圖至第5H圖繪示被構造成一擱架總成50之晶圓支撐組件，且更繪示一鎖定插件或夾82。第5A圖之繪示顯示晶圓支撐組件50其中之一被移除後之容器部32。在此圖式中可看到該等托架其中之二，其被構造成具有複數個容置凹槽47之安裝凹腔46。第5A圖亦繪示可一體成型於側部40上或以其他方式附裝至側部40之一安裝托架110,安裝托架110包含一後邊緣112並界定鄰近側壁41之若干個開口113。與殼體一體成型之另一側部托架114亦由配合特徵115容置，配合特徵115被構造成一位於晶圓支撐組件50中之狹槽。
在組裝時，將晶圓支撐組件50鄰近於側部40其中之一定位，且使各配合托架相嚙合。具體而言，如第5B圖所示，將晶圓支撐組件50之後部突出部90插入至容器部32之後部42之安裝凹腔46中。使晶圓支撐組件50之前邊緣86在y方向上圍繞一垂直軸線轉動至定位上，其中晶圓支撐組件之前部係鄰近緊位於安裝托架110後面之側壁41。在如此定位晶圓支撐組件50後，將夾82插入至安裝托架110中，俾使保持凸片98、100延伸貫穿安裝托架110之孔111並延伸至晶圓支撐組件50之前邊緣凹腔92中，如第5C圖所示。當鎖定夾82被完全插入時，將具有掣子102之保持凸片100卡扣於定位上，俾使掣子102嚙合安裝托架110之後邊緣112或晶圓支撐擱架之托架之一後邊緣。可利用柄部114以手動方式插入及移除鎖定夾。
在一個實施例中，安裝凹腔46及/或後部突出部90其中之一可被形成為其尺寸適以達成一緊密容差配合，而其餘之安裝凹腔46及/或後部突出部90被形成為其尺寸適以達成一較鬆之配合。該緊密容差配合可使晶圓支撐組件50相對於後部42對齊，而其餘之較鬆配合之安裝凹腔46及後部突出部90則提供穩定性。舉例而言，在所示實施例中，在後部42上存在三個安裝凹腔46，該等安裝凹腔46與晶圓支撐組件50上之三個後部突出部90配合。中心安裝凹腔46及後部突出部90可具有緊密容差以提供一緊密配合，而上部及下部安裝凹腔46及相應後部突出部90則係為鬆配合。上部及下部組合之鬆配合仍提供前傾(pitch)、側轉(yaw)及滾動(roll)穩定性，以防止不當的彎曲應力施加於中心安裝凹腔46/後部突出部90組合上。此佈置使得能更容易地將晶圓支撐組件50安裝至該等安裝凹腔46中，乃因僅緊密容差安裝凹腔46/後部突出部90組合需要謹慎地對準。
參照第6圖至第6E圖及第6H圖，一晶圓保持器120繪示於本發明之一實施例中。晶圓保持器120係利用例如自門44延伸之凸起122等傳統裝置而安裝於該門之內表面121上。晶圓保持器包含一實質矩形之外框架124，外框架124具有一上部構件126及一下部構件128，上部構件126與下部構件128係由二相對之側部構件130隔開，該二側部構件130大體上界定一矩形框架以由門之內壁表面容置。至少一個導塊134橫跨於上部構件126與下部構件128之間。複數個懸臂式指狀件138以懸臂方式自各該側部構件朝該至少一個導塊134延伸。導塊包含一個或二個垂直支撐構件，垂直支撐構件具有一排非懸臂式固定晶圓支架135，當門被完全安放於門框架中時，各該非懸臂式固定晶圓支架135為晶圓之各該前邊緣界定一安放位置136。
在每一對相鄰懸臂式指狀件138之間界定有一狹槽142，狹槽142終止於懸臂式指狀件138之固定端部144。各該懸臂式指狀件138係為實質上平坦的且於固定端部144處具有實質上均勻之厚度。懸臂式指狀件138於固定端部144之遠側位置處呈一傾斜形狀，進而界定一角或槽143。
在功能上，相較懸臂式指狀件138之位於固定端部144遠側之傾斜形狀部分，懸臂式指狀件138之固定端部144之平坦度更有助於彎曲。因此，當一晶圓或基板嚙合相應懸臂式指狀件138時，固定端部144可用作一活動鉸鏈。該等固定端部延伸至並支撐一中間部145，且隨後延伸至並支撐撓曲末端部146。藉由此種設計，在一個實施例中，各該懸臂式指狀件138大體上圍繞一延伸於各終點(即位於該懸臂式指狀件138之任一側上之狹槽142之各末端尖端149)間之相應軸線148撓曲，而指狀件本身則保持相當地具有剛性。
以此方式，懸臂式指狀件138可被成型為實質上匹配尤其是當門已安放時正被保持之晶圓或基板之外邊緣之半徑。懸臂式指狀件138上所界定之傾斜表面亦有助於導引晶圓並使晶圓居中於懸臂式指狀件138上。
各該指狀件具有固定端部或近端部144、一中間部145及一撓曲末端部146，其中一暴露之晶圓嚙合表面147係面對晶圓容器(即背對該門)。指狀件初始地自垂直構件水平延伸，且隨後於中間部145及端部146處自水平方向略微向下延伸。該暴露之晶圓嚙合表面具有一線性凹槽，該線性凹槽界定槽143或凹部，其中該槽之頂點150界定該暴露之晶圓嚙合表面之一上表面部151與一下表面部152之接合點。該槽或凹部提供一晶圓安放槽，以供當門被完全安放於容器部之門框架中時使用。位於各該指狀件之端部處之晶圓安放槽係鄰近該指狀件之上邊緣154或邊緣，並在該晶圓安放槽接近固定端部時延伸至上邊緣與下邊緣155之間、大約該指狀件之中部。參見第6F圖至第6G圖，其例示當懸臂式指狀件自其初始位置偏斜時(以虛線示出)晶圓W之漸進嚙合，如雙箭頭156所示。該暴露之晶圓嚙合表面之下表面部於各該指狀件之末端部處在垂直方向上較寬，且隨後朝固定端部變窄。
如上所述，該保持器更具有與該晶圓安放槽水平對齊之額外一或二排固定晶圓安放部。
當門被插入至容器部之門框架中時，晶圓之前邊緣因晶圓之下垂而於各該指狀件之末端部上之一較低點處初始地彼此嚙合。當門被進一步插入至門框架中時，相對於各該指狀件之每一下表面部之垂直線傾斜之斜面將向上地推動各該晶圓之前沿；當門被進一步插入時，各該晶圓與各該指狀件間之嚙合之水平範圍將於水平寬度方面增大並更靠近各該指狀件之固定端部延伸，直至門到達其安放位置為止。此時，各該晶圓沿晶圓嚙合槽之大部被相應指狀件最大程度地嚙合，且亦被該額外一排固定晶圓安放部嚙合。在一實施例中，各該晶圓被門之該等指狀件其中之二者以及二額外固定晶圓安放部嚙合。因此，在一實施例中，存在垂直的二排懸臂式晶圓嚙合指狀件及二排固定晶圓安放部。
第6H圖亦例示懸臂式指狀件之末端部之向下傾斜，其中晶圓保持器安裝於一前門之內表面上。
參照第7A圖至第7C圖，於本發明之一實施例中繪示轉鎖連接器58其中之一。轉鎖連接器之一功能在於，在不利用螺紋之情況下使用小於180度之局部旋轉將基礎板52固定至容器。在另一實施例中，使用大約90度之旋轉。另外，在各實施例中，連接器可提供一存取埠。所示實施例之轉鎖連接器58包含一實質圓柱體160，圓柱體160具有一帶凸緣端162及一無凸緣端164，其中帶凸緣端162之一凸緣166具有一上表面或朝外表面170及一下表面或朝內表面172。圓柱體160界定一內部穿通埠173。凸緣166可包含位於或鄰近凸緣166之一外部周邊178處之孔或凹口176。在一個實施例中，凹口176被成型為使得僅凹口176之一部分可自朝外表面170夠到，其中凹口176之其餘部分形成一凹槽180，凹槽180可自朝內表面172夠到(第7C圖)。
轉鎖連接器58亦可包含一弓形臂184，弓形臂184係鄰近圓柱體160之無凸緣端164形成。弓形臂184界定一切向狹槽186，切向狹槽186可自無凸緣端164夠到。在一個實施例中，一上凸片或朝外凸片188自圓柱體160沿徑向延伸且一下凸片或朝內凸片190自弓形臂184沿徑向延伸，其中該等凸片位於切向狹槽186之相對側上。轉鎖連接器58更可於圓柱體160上包含一凸起192。在所示實施例中，凸起192實質上與切向狹槽186正相對。
參照第8圖，於本發明之一實施例中繪示位於基礎板52上之一鎖定埠200。鎖定埠200被設計成選擇性地配合轉鎖連接器58。鎖定埠200可包含位於鎖定埠200之一內周邊206上之相對內部凸緣202、204。在一個實施例中，內部凸緣202至少其中之一界定一鎖定臂208，鎖定臂208以懸臂方式自內部凸緣202沿切向延伸，其中一掣子209鄰近鎖定臂208之自由端定位。一突出部210亦可位於鄰近鎖定臂208之自由端處。內部凸緣202、204及突出部210界定一第一間隙212及一第二間隙214。
參照第9A圖及第9B圖，於本發明之一實施例中繪示公扣緊構件213。公扣緊構件213可被構造成自容器部之底部延伸之管狀凸起215。在本發明之一實施例中，凸起215係與容器部之殼體一體成型，即與殼體成一整體。凸起215可被構造成容器部32之一清洗埠或存取埠216，其繪示於本發明之一實施例中。在其他實施例中，扣緊構件可為位於一貫穿殼體33之孔中之一帶凸緣構件。在其中連接器與一存取埠相關聯之一實施例中，凸起具有一通道219，通道219係與容器部32之內部流體連通。如圖所示之四個連接器其中之任一者或全部皆可與存取埠相關聯。存取埠216更可被表徵為具有一基礎部220及一自由端222，並且可包含自容器之下部38沿扣緊構件213之基礎部220延伸之角撐板223。在所示實施例中，存取埠216亦包含自本體218鄰近自由端222而朝外沿徑向延伸之一輔助凸起、突出部或銷224。
參照第9C圖，於本發明之一實施例中繪示轉鎖連接器58與存取埠216之耦合。(基礎板52於第9A圖至第9C圖中已被移除，以清楚示出轉鎖連接器58與存取埠216間之交互作用。在操作時，將包含基礎板52。)存取埠216之突出部224與轉鎖連接器58之切向狹槽186配合以提供一卡口式連接。在一個實施例中，轉鎖連接器58之無凸緣端164抵靠角撐板223之端部對齊。
參照第9D圖，一清洗閥230被繪示用於本發明之各實施例。清洗閥230可包含一具有一通道234之墊圈232，墊圈232容納一止回閥236以用於控制流經通道234之流量。墊圈232亦可包含外部肋238，以利於墊圈232於扣緊構件213之存取埠216內之密封及摩擦配合。可於存取埠216內使用大量清洗閥或墊圈其中之任一者，例如揭露於授予Tieben等人之美國專利申請案第7,328,727號中者，該美國專利申請案之揭露內容除其中所包含之表達定義外皆以引用方式全文併入本文中。
參照第10A圖及第10B圖，其繪示運作中之轉鎖連接器58。轉鎖連接器58被定向成使凸起192對準鎖定埠200之內部凸緣202、204間之第一間隙212、且朝外凸片188及朝內凸片190對準第二間隙214(第10A圖)。然後，轉鎖連接器58被設置於鎖定埠200中，俾使凸起192及朝外/朝內凸片188、190穿過第一及第二間隙212、214且存取埠216之銷224進入該轉鎖連接器之切向狹槽186。然後，該轉鎖連接器之凸緣166之朝內表面172接觸鎖定埠200之內部凸緣202、204及突出部210。
此時，該轉鎖連接器之凸緣166之朝內表面172亦接觸鎖定臂208之末端上之掣子209，進而使鎖定臂208遠離朝內表面172彎曲。然後，旋轉轉鎖連接器58(第10B圖)，俾使銷224於朝外凸片188與朝內凸片190之間定位於切向狹槽186內。該旋轉亦使位於該轉鎖連接器之凸緣166之朝內表面172上之凹槽180其中之一對準鎖定臂208之末端處之掣子209。鎖定臂208之彈性使掣子209卡合至凹槽180中。
在功能上，轉鎖連接器58將基礎板52之內部凸緣202、204捕獲於該轉鎖連接器之凸緣166之朝內表面172與轉鎖連接器58之凸起192及朝外凸片188之間。切向狹槽186與銷224交互作用以抵靠角撐板223之端部而固定轉鎖連接器58，此會決定該轉鎖連接器相對於存取埠216之軸向位置。
弓形臂184與其所接觸之角撐板223間之交互作用為該連接器提供穩定性，進而阻止該轉鎖連接器傾斜於存取埠216上。角撐板223及銷224亦將弓形臂184固定於定位上，以防止弓形臂184在基礎板之負載作用下經受彎矩。相反，將力傳遞至弓形臂184主要會形成一剪切應力以提高強度。而且，凸起192及朝內凸片190以及其所穿過之相應間隙212、214之切向尺寸可不同，以確保當將基礎板52鎖定於定位上時轉鎖連接器58能夠被正確定向。
鎖定臂208之末端處之掣子209防止轉鎖連接器58在正常操作下進行旋轉運動。突出部210防止鎖定臂208之末端延伸過長，並使轉鎖連接器58能更穩定地對準。為移除轉鎖連接器58，可將銷插入至凹口176的可自該轉鎖連接器之凸緣166之朝外表面170夠到之部分中。該插入會按壓鎖定臂208，俾使掣子209自凹槽180釋放，且轉鎖連接器58可轉動出正常位置。
30‧‧‧多用途載具
32‧‧‧容器部
33‧‧‧殼體
36‧‧‧上部
37‧‧‧頂壁
38‧‧‧下部
39‧‧‧底壁
40‧‧‧側部
42‧‧‧後壁/後部
43‧‧‧正面開口
44‧‧‧門框架/門
46‧‧‧托架/安裝凹腔
47‧‧‧容置凹槽
50‧‧‧晶圓支撐組件/擱架總成
52‧‧‧基礎板
56‧‧‧運動耦合槽組件/運動耦合槽
58‧‧‧轉鎖連接器
62‧‧‧安裝孔
64‧‧‧邊緣部
65‧‧‧直邊
66‧‧‧頂點部/半圓形端部
68‧‧‧鎖定突出部
72‧‧‧倒鉤
74‧‧‧錐形表面
76‧‧‧末端
78‧‧‧朝內表面
79‧‧‧卡扣部
82‧‧‧夾/鎖定夾
84‧‧‧夾持部
86‧‧‧前邊緣
88‧‧‧後邊緣
90‧‧‧後部突出部
92‧‧‧前邊緣凹腔
98‧‧‧保持凸片
100‧‧‧保持凸片
101‧‧‧鎖定凸片
102‧‧‧掣子
104‧‧‧自由端
110‧‧‧配合托架/安裝托架
111‧‧‧孔
112‧‧‧後邊緣
114‧‧‧側部托架/柄部
120‧‧‧晶圓保持器
121‧‧‧內表面
122‧‧‧凸起
124‧‧‧外框架
126‧‧‧上部構件
128‧‧‧下部構件
130‧‧‧側部構件
134‧‧‧導塊
135‧‧‧非懸臂式固定晶圓支架
136‧‧‧安放位置
138‧‧‧懸臂式指狀件
142‧‧‧狹槽
143‧‧‧槽
144‧‧‧固定端部或近端部
145‧‧‧中間部
146‧‧‧撓曲末端部
147‧‧‧暴露之晶圓嚙合表面
148‧‧‧軸線
149‧‧‧末端尖端
150‧‧‧頂點
151‧‧‧上表面部
152‧‧‧下表面部
154‧‧‧上邊緣
155‧‧‧下邊緣
156‧‧‧雙箭頭
160‧‧‧圓柱體
162‧‧‧帶凸緣端
164‧‧‧無凸緣端
166‧‧‧凸緣
170‧‧‧朝外表面
172‧‧‧朝內表面
173‧‧‧內部穿通埠
176‧‧‧凹口
178‧‧‧外部周邊
180‧‧‧凹槽
184‧‧‧弓形臂
186‧‧‧切向狹槽
188‧‧‧朝外凸片
190‧‧‧朝內凸片
192‧‧‧凸起
200‧‧‧鎖定埠
202‧‧‧內部凸緣
204‧‧‧內部凸緣
206‧‧‧內周邊
208‧‧‧鎖定臂
209‧‧‧掣子
210‧‧‧突出部
212‧‧‧第一間隙
213‧‧‧公扣緊構件
214‧‧‧第二間隙
215‧‧‧管狀凸起
216‧‧‧存取埠
218‧‧‧本體
219‧‧‧通道
220‧‧‧基礎部
222‧‧‧自由端
223‧‧‧角撐板
224‧‧‧銷/突出部
230‧‧‧清洗閥
232‧‧‧墊圈
234‧‧‧通道
236‧‧‧止回閥
238‧‧‧外部肋
3-3‧‧‧線
3C-3C‧‧‧線
6F-6F‧‧‧線
W‧‧‧晶圓
第1A圖係為根據本發明實施例之一晶圓載具之透視圖；第1B圖係為第1A圖所示晶圓載具在門被移除時之透視圖，其例示用於實施本發明之組件之附裝；第1C圖係為第1A圖所示晶圓載具在門被移除時之透視圖，其例示用於實施本發明之組件之附裝；第2圖係為根據本發明實施例之一晶圓載具之底側之透視圖；第3圖係為根據本發明實施例之一晶圓載具之一容器部沿第1C圖所示線3-3截取之正視剖面圖；第3A圖係為第3圖所示橫截面之各部分之詳細剖面透視圖，其例示本發明之實施例；第3B圖係為根據本發明實施例之一運動耦合組件之透視圖；第3C圖係為根據本發明實施例之一晶圓載具之一容器部沿著y-z平面以第1C圖所示線3C-3C截取之詳細側視剖面圖；第4A圖係為根據本發明實施例之一晶圓支撐組件之透視圖；第4B圖係為根據本發明實施例之一鎖定夾之透視圖；第5A圖係為根據本發明實施例之一容器部之一殼體之透視圖；第5B圖係為根據本發明實施例之第5A圖所示殼體在其中插入有一晶圓支撐組件時之透視圖；第5C圖係為根據本發明實施例之第5A圖及第5B圖所示殼體在其中利用一鎖定夾來固定晶圓支撐組件時之透視圖；第5D圖係為根據本發明實施例之一鎖定夾之透視圖；第5E圖係為根據本發明實施例之第5D圖所示鎖定夾之一相對側之透視圖；第5F圖係為根據本發明實施例之一晶圓支撐組件之透視圖，該晶圓支撐組件具有一後部托架部；第5G圖係為根據本發明實施例之一晶圓支撐組件之透視圖，該晶圓支撐組件具有一前部托架；第5H圖係為根據本發明實施例之一晶圓支撐組件之一後部托架部之側視圖，其中該後部托架部與位於一容器部之一殼體之一側壁上之配合後部托架嚙合；第6圖係為根據本發明實施例之一晶圓保持器之晶圓嚙合側之透視圖，其中該晶圓保持器係可附裝至前門之內表面；第6A圖係為第6圖所示晶圓保持器之懸臂式指狀件之透視圖；第6B圖至第6E圖係為沿第6A圖所示相應線截取之一懸臂式指狀件之各種橫截面之相對厚度及構造之側視示意圖；第6F圖至第6H圖以沿第6A圖所示線6F-6F截取之平面剖面示意圖形式例示根據本發明實施例之一晶圓與一懸臂式指狀件之漸進嚙合；第6I圖係為根據本發明實施例之前門之內表面之正視圖，其中一晶圓保持器處於定位上；第7A圖係為根據本發明實施例之一轉鎖連接器之透視圖，該轉鎖連接器以少於半圈之轉動進行鎖定；第7B圖係為根據本發明實施例，自相對側向上看時第7A圖所示轉鎖連接器之透視圖；第7C圖係為第7A圖所示轉鎖連接器上之一凹口或槽之透視圖；第8圖係為根據本發明實施例之一基礎板之底側之透視圖，其中該基礎板中暴露有一與殼體成一體之凸起；第9A圖係為根據本發明實施例之一容器部之一殼體之透視圖，其例示自下壁延伸之複數個一體式凸起；第9B圖係為第9A圖所示殼體之底部上之一凸起之詳細透視圖，其中為便於觀察起見，在該圖中該殼體已被倒置；第9C圖係為根據本發明實施例之帶有一轉鎖連接器之第9B圖所示凸起之詳細透視圖；第9D圖係為其中具有一止回閥之一彈性體墊圈之剖面圖，該彈性體墊圈適用於用作清洗埠之連接器及凸起中；第10A圖及第10B圖係為例示將一連接器附裝至一凸起之圖式，其中該凸起自一殼體延伸，基礎板夾置於該連接器與該凸起之間；以及第10C圖係為根據本發明實施例之穿過一凸起及一轉鎖連接器截取之剖面圖，其中以虛線顯示具有一止回閥之一清洗墊圈。
30‧‧‧多用途載具
32‧‧‧容器部
36‧‧‧上部
40‧‧‧側部
44‧‧‧門框架/門
52‧‧‧基礎板

权利要求:
Claims (31)
[1] 一種前開式晶圓載具，包含一容器部，該容器部具有一門框架及一門，該門可容置於該門框架中以密封地封閉該晶圓載具，該容器部包含複數排晶圓擱架，該等晶圓擱架被設置用於容置由垂直對齊且相間隔之晶圓形成之一晶圓堆疊，該門具有一朝內表面、一朝外表面、一周邊並包含一閂鎖機構，該閂鎖機構具有複數個閂鎖部，該等閂鎖部嚙合該門框架以用於將該門於一安放位置固定於該門框架中，該門更包含一晶圓保持器以附裝於該門之該朝內表面，該晶圓保持器包含一框架，該框架包含自該框架延伸之二排懸臂式晶圓指狀件，各該指狀件具有一上邊緣部、一下邊緣部並包含一固定端部、一中間部及一末端部，各該指狀件於該固定端部附裝至該框架，該末端部具有一末端尖端，各該晶圓指狀件更具有一晶圓容置槽部，該晶圓容置槽部自該末端尖端延伸至該中間部，該晶圓容置槽部具有一槽頂點，該槽頂點係於該末端尖端處鄰近該上邊緣部定位並延伸至該中間部處鄰近該懸臂式指狀件之一垂直中部之一位置。
[2] 如請求項1所述之前開式晶圓載具，其中該晶圓載具之尺寸適用於450毫米晶圓，且各該懸臂式指狀件係用以將各該指狀件之該末端尖端定位成在複數個晶圓安放於該容器部中之情況下將該門插入該門框架中時，各該晶圓係首先於相較鄰近該固定端部而更鄰近該遠端尖端處嚙合該等懸臂式指狀件。
[3] 如請求項2所述之前開式晶圓載具，其中各該晶圓容置槽具有一長度，該長度自該遠端尖端延伸至鄰近該固定端部之一槽終點，且其中各該懸臂式指狀件被配置成當該門完全安放好時，該晶圓容置槽部係於各該晶圓容置槽之實質該長度上被嚙合。
[4] 如請求項1所述之前開式晶圓載具，其中該二排懸臂式指狀件其中之每一排沿朝向該二排懸臂式指狀件其中之另一排懸臂式指狀件之方向懸伸。
[5] 如請求項4所述之前開式晶圓載具，其中該晶圓保持器包含另外一排固定晶圓支架，該等固定晶圓支架各具有一V形晶圓邊緣容置表面。
[6] 如前述請求項中任一項所述之前開式晶圓載具，其中各該懸臂式指狀件具有一晶圓嚙合表面，該晶圓嚙合表面背對該門且該表面界定各該晶圓之一頂部邊緣及一底部邊緣，且其中該晶圓容置槽於一上表面與一下表面之間劃分該晶圓嚙合表面，且其中該上表面具有小於該下表面之一面積，且其中隨著參考位置朝終點移動，該下表面之垂直寬度逐漸減小。
[7] 如請求項1至5中任一項所述之前開式晶圓載具，其中各該懸臂式指狀件被配置成沿一水平方向遠離該框架構件懸伸、然後鄰近該遠端尖端而向下彎曲。
[8] 如請求項1至5中任一項所述之前開式晶圓載具，其中該晶圓保持器之該框架包含一周邊，該周邊係由一上部水平框架構件及一下部水平框架構件界定而成，該上部水平框架構件與該下部水平框架構件間隔開，自該二水平且沿一橫向彼此間隔開之水平框架構件其中之每一者分別延伸出四個垂直支撐構件，該等水平支撐構件其中之二水平支撐構件係與該二排懸臂式指狀件相關聯。
[9] 一種前開式晶圓載具，包含一容器部，該容器部具有一門框架及一門，該門可容置於該門框架中以密封地封閉該晶圓載具，該容器部包含複數排晶圓擱架，該等晶圓擱架被設置用於容置由垂直對齊且相間隔之晶圓形成之一晶圓堆疊，該門具有一朝內表面、一朝外表面、一周邊並包含一閂鎖機構，該閂鎖機構具有複數個閂鎖部，該等閂鎖部嚙合該門框架以用於將該門於一安放位置固定於該門框架中，該門更包含一晶圓保持器，該晶圓保持器係附裝於該門之該朝內表面，該晶圓保持器包含一框架，該框架包含自該框架延伸之二排懸臂式晶圓指狀件，各該指狀件具有一長度、一上邊緣部及一下邊緣部，且各該懸臂式指狀件包含一固定端部、一中間部及一末端部，各該懸臂式指狀件於該固定端部附裝至該框架，該末端部具有一末端尖端，各該晶圓指狀件更具有一晶圓容置槽部，該晶圓容置槽部自鄰近該末端尖端處朝該中間部延伸一距離，該距離至少大於各該懸臂式指狀件之該長度之一半，且其中各該懸臂式指狀件於該末端部自水平方向向下延伸。
[10] 如請求項1所述之前開式晶圓載具，其中該晶圓載具之尺寸適用於450毫米晶圓，且各該懸臂式指狀件被配置成將各該指狀件之該末端尖端定位成在複數個晶圓安放於該容器部中之情況下將該門插入該門框架中時，各該晶圓係首先於相較鄰近該固定端部而更鄰近該遠端尖端處嚙合該等懸臂式指狀件。
[11] 如請求項10所述之前開式晶圓載具，其中各該晶圓容置槽具有一長度，該長度自該遠端尖端延伸至鄰近該固定端部之一槽終點，且其中各該懸臂式指狀件被配置成當該門完全安放好時，該晶圓容置槽部係於各該晶圓容置槽之實質該長度上被嚙合。
[12] 如請求項9所述之前開式晶圓載具，其中該二排懸臂式指狀件其中之每一排沿朝向該二排懸臂式指狀件其中之另一排懸臂式指狀件之方向懸伸，且其中該晶圓保持器包含二排固定晶圓支架，該二排固定晶圓支架係位於該二排懸臂式指狀件中間。
[13] 如請求項9至12中任一項所述之前開式晶圓載具，其中該晶圓容置槽部具有一槽頂點，該槽頂點係於該末端尖端處鄰近該上邊緣部定位並延伸至該中間部處鄰近該懸臂式指狀件之一垂直中部之一位置。
[14] 一種用於450毫米晶圓之前開式晶圓容器，包含一容器部，該容器部具有一前門框架及一門，該門可容置於該門框架中以密封地封閉該晶圓載具，該容器部包含複數排晶圓擱架，該等晶圓擱架被設置用於容置由垂直對齊且相間隔之晶圓形成之一晶圓堆疊，該門具有一朝內表面、一朝外表面、一周邊並於該周邊處包含一閂鎖機構，該閂鎖機構具有複數個閂鎖部，該等閂鎖部嚙合該門框架以用於將該門於一安放位置固定於該門框架中，該門更包含一晶圓保持器，該晶圓保持器係附裝於該門之該朝內表面，該晶圓保持器包含至少一排垂直對齊之固定、非懸臂式晶圓支架，該等垂直對齊之固定、非懸臂式晶圓支架具有用於該相間隔之晶圓堆疊之各該晶圓之晶圓嚙合凹槽，自該晶圓保持器向外具有二排懸臂式指狀件，該二排懸臂式指狀件其中之每一排皆具有一相關聯之垂直支撐構件，各該指狀件具有一固定端部、一中間部及一末端部，各該指狀件於該固定端部附裝至各該框架，該中間部係由該固定端部支撐，該末端部則由該中間部支撐，該中間部水平延伸，且該末端部相對於水平方向向下以一銳角延伸，各該懸臂式指狀件具有一橫跨各該懸臂式指狀件之該末端部之晶圓嚙合槽，該晶圓嚙合槽不平行於該懸臂式指狀件之該末端部之一頂部邊緣。
[15] 如請求項14所述之前開式晶圓容器，其中該二排懸臂式指狀件其中之每一排之各該懸臂式指狀件係被定向成朝另一排懸臂式指狀件懸伸。
[16] 如請求項14所述之前開式晶圓容器，其中各該指狀件之各該末端部上之該槽不平行於該懸臂式指狀件之該末端部之一頂部邊緣。
[17] 一種晶圓容器，包含：一殼體，具有一內部及一外部，該殼體包含複數個扣緊構件，該等扣緊構件自該殼體之一底部向外延伸，各該扣緊構件界定一存取埠，該存取埠係與該殼體之該內部流體連通；複數個支架，設置於該內部中，用於容置一基板；一門，由該殼體密封地容置；一底板，於複數個位置處連接至該殼體，並具有複數個沿徑向對齊之運動槽；以及複數個連接器，各該扣緊構件分別對應於一個連接器，該等連接器用以選擇性地耦合至該等扣緊構件，並界定實質上環繞該等扣緊構件之一穿通埠，其中該等扣緊構件延伸貫穿該底板，且其中該等連接器用以將一底部凸緣捕獲於該等連接器與該殼體之間。
[18] 如請求項17所述之晶圓容器，其中該等連接器係為轉鎖連接器。
[19] 如請求項18所述之晶圓容器，其中各該扣緊構件包含一圓柱體，該圓柱體具有自其向外沿徑向延伸之一銷，且其中該連接器於一第一端上包含一凸緣並於一第二端上包含一弓形臂，該弓形臂界定用於嚙合該銷之一切向狹槽，該弓形臂包含一凸片，該凸片平行於該凸緣而沿徑向向外延伸，其中該底板被捕獲於該凸片與該凸緣之間。
[20] 如請求項17所述之晶圓容器，其中各該扣緊構件包含一角撐板構件，該角撐板構件自該殼體之該底部沿該扣緊構件之一基部延伸，且其中該弓形臂與該角撐板接觸。
[21] 如請求項17所述之晶圓容器，其中一墊圈設置於該等扣緊構件內。
[22] 一種晶圓容器，包含：一殼體，具有一內部及一外部，該殼體包含複數個扣緊構件，該等扣緊構件自該殼體之一底部向下延伸，各該扣緊構件被構造成一凸起，該凸起具有一管狀本體；複數個支架，設置於該內部中，用於容置一基板；一門，由該殼體密封地容置；一底板，於複數個位置處連接至該殼體，具有沿徑向對齊之複數個運動槽，並具有對應於各該扣緊構件之複數個開口；以及複數個連接器，各該扣緊構件分別對應於一個連接器，該等連接器用以耦合至該等扣緊構件，其中該等扣緊構件延伸貫穿該底板，且其中該等連接器用以將一底部凸緣捕獲於該等連接器與該殼體之間。
[23] 如請求項17所述之晶圓容器，其中該等連接器被構造成一卡口式連接器。
[24] 一種前開式晶圓容器，具有一容器部，該容器部具有一正面開口及一門，該門插入至該正面開口中，該容器部包含一殼體，該殼體具有一頂壁、一底壁、二側壁、一後壁及一內部，該容器部更包含一基礎板及一對晶圓支撐組件，該基礎板具有三個運動耦合槽於複數個連接點連接至該殼體，該對晶圓支撐組件位於該殼體之該內部中，各該晶圓支撐組件包含複數個擱架以用於支撐由相間隔之晶圓形成之一晶圓堆疊，各該晶圓支撐組件於該組件之一後端具有一托架，該托架嚙合與該側壁成一整體之一托架，以將該托架之後端固定至該側壁，該組件更包含一前部托架，該前部托架具有複數個開口，該等開口係對齊於與該殼體成一體之配合前部托架上之複數個開口，該容器更包含一鎖定夾，該鎖定夾包含複數個凸片，當該鎖定夾被置於一固定位置時，該等凸片延伸貫穿該殼體之該前部托架中之該等開口其中之一及該組件之該前部托架中之該等開口其中之一。
[25] 如請求項24所述之前開式晶圓容器，其中該鎖定夾更包含一掣子，以用於嚙合與該殼體成一體之該前部托架及與該組件成一體之該前部托架其中之一。
[26] 一種前開式晶圓容器，具有一容器部，該容器部具有一正面開口及一門，該門插入至該正面開口中，該容器部包含一殼體，該殼體具有一頂壁、一底壁、二側壁、一後壁及一內部，該容器部更包含一基礎板及一對晶圓支撐組件，該基礎板具有三個運動耦合槽於複數個連接點連接至該殼體，該對晶圓支撐組件位於該殼體之該內部中，各該晶圓支撐組件包含複數個擱架以用於支撐由相間隔之晶圓形成之一晶圓堆疊，各該晶圓支撐組件於該組件之一後端具有一托架，該托架嚙合與該側壁成一整體之一配合後部托架，以將該托架之後端固定至該側壁，該晶圓支撐組件更包含一前部托架，該前部托架係與該等擱架成一體，且當該晶圓支撐組件後部托架嚙合該殼體後部托架時，該前部托架可被定位成對齊與該殼體成一體之一配合後部托架，該容器更包含一鎖定夾，該鎖定夾可嚙合該殼體之該前部托架並同時嚙合該晶圓支撐組件之該前部托架部，藉此將該晶圓支撐組件固定至該殼體。
[27] 如請求項26所述之前開式晶圓容器，其中該鎖定夾包含一一體式彈性部，當該晶圓支撐組件被固定至該殼體時，該一體式彈性部偏轉以將該鎖定夾固定於一鎖定位置。
[28] 如請求項24至26中任一項所述之前開式晶圓容器，其中該鎖定夾係沿一z方向插入至該容器部中，以嚙合該殼體之該後部托架及該晶圓支撐組件之該前部托架，該z方向平行於晶圓之一插入及抽出方向。
[29] 一種前開式晶圓容器，具有一容器部，該容器部具有一正面開口及一門，該門插入至該正面開口中，該容器部包含一殼體，該殼體具有一頂壁、一底壁、二側壁、一後壁及一內部，該容器部更包含一基礎板，該基礎板具有三個運動耦合槽組件於該基礎板中之三個孔處連接至該基礎板，各該運動耦合槽組件具有一邊緣部64，該邊緣部具有經過修改之一橢圓形狀，該橢圓形狀具有細長之直邊及半圓形端部，各該運動耦合槽組件具有一對突出部，各該突出部具有一倒鉤，該倒鉤係與該邊緣部成一體地定位並自該邊緣部之該等細長直邊延伸，該等突出部嚙合該基礎板之朝內卡扣表面，該邊緣部於該二半圓形端部處嚙合該基礎板之朝外卡扣表面。
[30] 如請求項29所述之前開式晶圓容器，其中該基礎板中之各該三個孔具有一適形於該運動耦合槽組件之該邊緣部之形狀。
[31] 一種前開式晶圓容器，具有一容器部，該容器部具有一正面開口及一門，該門插入至該正面開口中，該容器部包含一殼體，該殼體具有一頂壁、一底壁、二側壁、一後壁及一內部，該容器部更包含一基礎板，該基礎板具有三個運動耦合槽組件於該基礎板中之三個孔處連接至該基礎板，各該運動耦合槽組件具有一邊緣部64，該邊緣部具有二細長邊及二短邊，各該運動耦合槽組件具有一對突出部，各該突出部具有一倒鉤，該倒鉤係與該邊緣部成一體地定位並以一角度自該邊緣部之該等細長直邊延伸，該角度近似垂直於該邊緣部之一平面，該等突出部嚙合該基礎板之朝內卡扣表面，該邊緣部於該二半圓形端部處嚙合該基礎板之朝外卡扣表面。

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